【三氯氢硅cas】三氯氢硅（Trichlorosilane），化学式为SiHCl₃，是一种重要的有机硅化合物，广泛应用于半导体制造、太阳能电池板生产以及高纯度硅材料的制备中。其CAS编号为 10026-04-7，是化学品识别和管理中的重要标识。
以下是关于三氯氢硅的一些关键信息总结：
一、基本信息
| 项目 | 内容 |
| 中文名称 | 三氯氢硅 |
| 英文名称 | Trichlorosilane |
| 化学式 | SiHCl₃ |
| CAS编号 | 10026-04-7 |
| 分子量 | 约135.45 g/mol |
| 外观 | 无色至淡黄色液体，有刺激性气味 |
| 沸点 | 约31.8°C（常压） |
| 熔点 | 约-112°C |
| 密度 | 约1.32 g/cm³（25°C） |
二、用途与应用
三氯氢硅主要作为制备高纯度多晶硅的关键原料，广泛用于以下领域：
- 半导体工业：用于沉积多晶硅薄膜，是制造晶体管和集成电路的重要材料。
- 光伏产业：在太阳能电池板的生产中，用于制备硅基材料。
- 电子材料：作为硅源用于CVD（化学气相沉积）工艺中。
- 化学合成：可作为有机硅化合物的前驱体，参与多种有机硅产品的合成过程。
三、安全与储存
三氯氢硅具有一定的危险性，使用时需注意以下事项：
- 易燃性：遇明火或高温可能发生燃烧。
- 毒性：吸入蒸气可能对呼吸道和眼睛产生刺激，长期接触可能对人体有害。
- 反应性：与水接触会发生剧烈反应，释放出氯化氢气体。
- 储存条件：应存放在阴凉、通风良好的地方，远离火源和氧化剂。
四、法规与标准
由于其化学性质和潜在危害，三氯氢硅在多个国家和地区受到严格监管，常见的相关法规包括：
- OSHA（美国职业安全与健康管理局）：规定了工作场所的最大允许浓度（PEL）。
- REACH（欧盟化学品注册、评估、授权和限制法规）：要求对三氯氢硅进行登记和风险评估。
- 中国GB/T 14592-2008：规定了三氯氢硅的化学组成和质量标准。
五、总结
三氯氢硅作为一种重要的化工原料，在现代电子工业中扮演着不可或缺的角色。了解其CAS编号、物理化学性质、用途及安全注意事项，有助于更有效地管理和使用该物质。同时，遵守相关法规和安全操作规程，是保障生产安全和环境保护的重要前提。